2025年度

前期

マイクロビーム工学特論

講義

Science and Technology of Microbeams

Z1300001 マイクロビーム工学特論 [対面]

於保 英作

2.0単位

火曜3限

八王子

1E-106講義室

A 専攻する研究領域における高度な専門知識を身につけたもの 100%
B 科学技術を運用する能力を身につけたもの　0%
C 主体的に研究に取り組み、社会や職業についての知識や技術者や研究者として必要な倫理観を身につけたもの　0%
D 特定の専門領域における創成能力を身につけたもの　0%

マイクロビーム工学の守備範囲は非常に広くなっています。それを理解・活用するために必要な基礎的学習として，電子・イオンの発生，ビーム形成，荷電粒子の真空電磁界中の挙動とエネルギー輸送，荷電粒子と固体表面との相互作用等が挙げられます。それらを相互に関連させて学習・議論できるようになることが本特論の目的となります。また、重要度が増している多彩なビーム応用装置について概説します。

前提条件なしでの受講が可能ですが、初歩的な電気磁気の知識を必要とします。

e-ラーニング等ICTを活用した自主学習支援／特に活用しない

1) イントロダクション、電子・イオンの発生，粒子性・波動性
2) 電子銃、電子の発生機構
3) 電界・磁界中における荷電粒子の運動
4) 静電偏向，電磁偏向、静電レンズ，磁界レンズ
5) ビームの形成
6) 荷電粒子ビームと固体表面の相互作用
7) 各種信号の検出と増幅
8) 荷電粒子によるエネルギー輸送
9) 電子線による損傷・帯電・汚染，外乱
10) 高分解能走査電子顕微鏡、高分解能電子線測長装置
11) 可変圧力走査電子顕微鏡、イオンビーム装置
12) 電子ビーム露光・描画技術
13) ビーム応用分野におけるディジタル画像・信号処理
14) 学修到達度の確認(試験）
15) 授業の振り返り

学習内容の理解度を確認する目的で期末試験を行います。その得点により成績を評価します。S〜Fの6段階評価でD以上の者を合格とします。

最終回の授業で講評します

パワーポイント教材を使います。必要に応じてプリント，文献等を配布します。

新・走査電子顕微鏡（日本顕微鏡学会関東支部編、共立出版）

前期木曜日11:40〜12:20 八王子校舎13号館303室(ナノビーム計測情報研究室)
その他，短時間であれば授業終了後の教室においても質問を受け付けます。

実務家担当科目ではない

電気・電子工学専攻