2025年度

前期

マイクロシステム工学特論

講義

Advanced Course of Microsystem Engineering

Z1300002 マイクロシステム工学特論 [遠隔(同)]

鈴木 健司

2.0単位

火曜3限

八王子　遠隔

A 専攻する研究領域における高度な専門知識を身につけたもの 100%
B 科学技術を運用する能力を身につけたもの　0%
C 主体的に研究に取り組み、社会や職業についての知識や技術者や研究者として必要な倫理観を身につけたもの　0%
D 特定の専門領域における創成能力を身につけたもの　0%

(1) マイクロ・ナノシステムの加工技術、アクチュエータ、センサ、スケール効果およびマイクロシステムの応用について学ぶ。
(2) マイクロシステムに関する英語の論文を読み、その要約をレポートにまとめることにより、マイクロシステムに関する理解を深めるとともに、英語の読解力、レポート作成能力を向上させる。

学部で学習する4力学および計測工学、メカトロニクスの基本事項を理解していることが望ましい

e-ラーニング等ICTを活用した自主学習支援

第１回：マイクロシステムの概要について学ぶ
第２回：物理量のスケール効果について学ぶ
第３回：マイクロ加工技術（フォトリソグラフィー，エッチング）について学ぶ
第４回：マイクロ加工技術（成膜プロセス）について学ぶ
第５回：MEMS機械量センサの種類、構造，原理について学ぶ
第６回：MEMSセンサの原理とIoTへの応用について学ぶ
第７回：静電アクチュエータと圧電アクチュエータの構造、原理について学ぶ
第８回：各種マイクロアクチュエータの特徴について学ぶ
第９回：マイクロ機能表面について学ぶ
第10回：生物表面の微細構造と機能について学ぶ
第11回：バイオミメティクスとマイクロロボットについて学ぶ
第12回：マイクロシステムの設計について学ぶ
第13回：マイクロシステムの応用について学ぶ
第14回：マイクロシステムに関する英語論文を読み要約をレポートにまとめる
第15回：学習内容の振り返り

毎回の授業で行う小テストと最終レポートの結果を5:5の割合で評価を行う．

毎回の授業で出題するレポートについて次の授業の最初に解説を行い、学生にフィードバックする。
最終レポートについては最終回の振り返りの授業で講評を行う。

特に指定しない

江刺正喜　著, 「はじめてのMEMS」, 森北出版，2011.
諸貫信行　著，「微細構造から考える表面機能」，森北出版，2011.

水曜日 14:00〜15:00 八王子16号館（MBSC棟）16-121号室（マイクロシステム研究室）
その他の時間帯は　ksuzuki[at]cc.kogakuin.ac.jp までメールで事前に連絡してください。

マイクロ技術は、幅広い分野の技術の発展に重要な役割を果たすので、マイクロシステムに関する基本事項を習得してほしい．

実務家担当科目ではない

機械工学専攻