2025年度

前期

ナノエレクトロニクス工学特論

講義

Nano-Electronics Engineering

Z1400003 ナノエレクトロニクス工学特論 [遠隔(オ)]

坂本 哲夫

2.0単位

火曜6限

八王子　遠隔

A 専攻する研究領域における高度な専門知識を身につけたもの 100%
B 科学技術を運用する能力を身につけたもの　0%
C 主体的に研究に取り組み、社会や職業についての知識や技術者や研究者として必要な倫理観を身につけたもの　0%
D 特定の専門領域における創成能力を身につけたもの　0%

アメリカが「国家ナノテクノロジー戦略(NNI)」を発表して以来、ナノテクノロジーに関する研究開発・産業分野は急速な広がりを見せている。本講義では電子工学分野におけるナノテクノロジーの概論および基幹技術である作製技術、計測評価技術について習得する。

半導体デバイス、材料科学、MEMS、および機器分析手法に関する研究を行っている大学院生

特に活用しない

1) 微細加工の歴史
2) ナノテクノロジーの基礎　（作成方法の概念：トップダウンとボトムアップ）
3) ナノ構造とその特性Ｉ　（３次元、２次元構造）
4) ナノ構造とその特性II　（１次元、０次元構造）
5) 原子スケール構造の創成　（原子・分子配線、スイッチ）
6) ナノ構造の作製技術Ｉ（電子線、イオンビーム、Ｘ線リソグラフィ）
7) ナノ構造の作製技術II　（MEMS、LIGAプロセス）
8) ナノ構造の実用大量合成　（フラーレン、カーボンナノチューブ）
9) シリコンナノプロセス　（表面処理、インプリント、エッチング、ドーピング）
10) 解析評価技術I （原子配列の解析手法）
11) 解析評価技術II（モフォロジ及び形状観察手法）
12) 解析評価技術III （元素解析1）
13) 解析評価技術IV （元素解析2）
14) 学習到達度の確認（授業内試験）
15) ナノテクノロジーの今後と講評 （オンデマンド）

第１４回の授業内に試験を実施する。全１５回のうち、1/3を超えて欠席した者は履修放棄とみなす。なお、成績は授業内試験により評価し、A+〜Fの６段階評価で、D以上の者を合格とする。

第１５回はオンデマンドでの受講とするが、この回に全体の講評を述べる。

特に指定しない。

「ナノテクノロジーハンドブック」、ナノテクノロジーハンドブック編集委員会、丸善

火曜日　18:00-20:00、Zoom等で対応しますので、先ずはメールで連絡してください。

ナノテクノロジーは新しい分野ですが、使われている技術そのものは他分野において古くから使われてきたものも多く含みます。電気・電子系だけではなく、化学系、機械系の学生にも役立つ知識です。

実務家担当科目ではない

電気・電子工学専攻